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产品分类技术文章/ article
可以执行各种操作模式,例如关闭或打开阀盘(阀盘)、将其定位到任何位置以及改变打开/关闭速度。
一台设备即可实现全封闭和电导调节。
可以从压差状态(真空-大气压)开启。
采用直接电机驱动机构和高精度齿轮箱,提供出色的位置精度重复性。
根据控制方式,可实现开度调节、速度调节等多种动作模式。(注1)
适用于大流量排气,具有优良的耐久性。非常适合 FPD/OLED 相关设备(涂布机系统、粘合设备等)。
可以使用角度显示指示器从外部确认阀体的位置。
通过添加可选的双自动压力控制系统控制器进行控制,也可用作自动压力控制阀。
类型 | MBV-ADII-M4(三菱电机/MR-J4系列) M B V - A D II - M4 Br (电机规格:带制动器) |
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口径 | 50A、65A、80A、100A、150A、200A、250A |
泄漏量 | 1×10 -9 Pa・m 3 /s以下 |
使用面积 | 10 5 ~10 -6帕 |
圆盘密封*1 | 三元乙丙橡胶O型圈 |
轴封*2 | 三元乙丙橡胶O型圈 |
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气体接触材料 | SUS304 |
指标 | 带角度外部显示指示器 |
附带伺服放大器 | MR-J4-A-RJ(支持定位模式) |
选项 | 开/关检测光电传感器 |