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产品型号：SCRD4
更新时间：2023-08-22简要描述：日本 rexxam清洗・干燥装置 台式型SCRD4清洗・干燥装置是使用不会产生毛细管力・表面张力的超临界流体，可使超微细构件得到清洗・干燥且不会造成变形或破坏。用途1.连采用IPA（异丙醇）干燥都会受损的、具有超微细结构的晶圆。2.具有纵横比较大的MEMS等微细结构的晶圆。3.硅气凝胶那样具有纳米量级极细空间的材料制备。4.加入添加剂、抗蚀剂等的溶解去除、剥离等。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
日本 rexxam清洗・干燥装置 台式型SCRD4
清洗・干燥装置是使用不会产生毛细管力・表面张力的超临界流体，可使超微细构件得到清洗・干燥且不会造成变形或破坏。
用途
1.连采用IPA（异丙醇）干燥都会受损的、具有超微细结构的晶圆。
2.具有纵横比较大的MEMS等微细结构的晶圆。
3.硅气凝胶那样具有纳米量级极细空间的材料制备。
4.加入添加剂、抗蚀剂等的溶解去除、剥离等。
规格
| 使用流体 | CO2 |
| 使用压力 | 14MPa |
| 使用温度 | 40℃ |
| 腔室 | 内径φ110×26mm |
| 安全功能 | 电气安全装置、机械安全装置、防过热保护 |
| 控制面板 | 采用触摸屏进行运转程序设定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 约60kg |
| 电源 | AC100V 50/60Hz 10A |
日本 rexxam清洗・干燥装置 台式型SCRD4
清洗・干燥装置是使用不会产生毛细管力・表面张力的超临界流体，可使超微细构件得到清洗・干燥且不会造成变形或破坏。
用途
1.连采用IPA（异丙醇）干燥都会受损的、具有超微细结构的晶圆。
2.具有纵横比较大的MEMS等微细结构的晶圆。
3.硅气凝胶那样具有纳米量级极细空间的材料制备。
4.加入添加剂、抗蚀剂等的溶解去除、剥离等。
规格
| 使用流体 | CO2 |
| 使用压力 | 14MPa |
| 使用温度 | 40℃ |
| 腔室 | 内径φ110×26mm |
| 安全功能 | 电气安全装置、机械安全装置、防过热保护 |
| 控制面板 | 采用触摸屏进行运转程序设定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 约60kg |
| 电源 | AC100V 50/60Hz 10A |
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